航空精密制造技术
航空精密製造技術
항공정밀제조기술
AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY
2002年
1期
9-12
,共4页
莘海维%奚正蕾%凌行%张志明
莘海維%奚正蕾%凌行%張誌明
신해유%해정뢰%릉행%장지명
金刚石薄膜%图形化%选择性生长%刻蚀
金剛石薄膜%圖形化%選擇性生長%刻蝕
금강석박막%도형화%선택성생장%각식
从金刚石薄膜半导体器件的实用要求出发,比较了金刚石薄膜的各种图形化技术,研究了它们各自的特点和适用性,如播种法选择性生长、掩膜法选择性生长、离子束刻蚀和反应离子刻蚀技术等.
從金剛石薄膜半導體器件的實用要求齣髮,比較瞭金剛石薄膜的各種圖形化技術,研究瞭它們各自的特點和適用性,如播種法選擇性生長、掩膜法選擇性生長、離子束刻蝕和反應離子刻蝕技術等.
종금강석박막반도체기건적실용요구출발,비교료금강석박막적각충도형화기술,연구료타문각자적특점화괄용성,여파충법선택성생장、엄막법선택성생장、리자속각식화반응리자각식기술등.
