摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2001年
6期
494-498
,共5页
邓昭%饶文琦%任天辉%余来贵%刘维民%余新良
鄧昭%饒文琦%任天輝%餘來貴%劉維民%餘新良
산소%요문기%임천휘%여래귀%류유민%여신량
微机电系统%微观摩擦学%表面改性%薄膜%超润滑
微機電繫統%微觀摩抆學%錶麵改性%薄膜%超潤滑
미궤전계통%미관마찰학%표면개성%박막%초윤활
对微机电系统的微观摩擦学研究现状进行了综述,介绍了在微机电系统中摩擦学呈现的各种新特征,以及材料、环境和不同工况条件对微机电系统运行稳定性的影响.从微观摩擦学角度探讨了微机电系统的润滑问题,介绍了表面改性和薄膜润滑等在解决微机电系统润滑问题方面的研究现状, 并对相关领域的工作进展进行了总结和展望.
對微機電繫統的微觀摩抆學研究現狀進行瞭綜述,介紹瞭在微機電繫統中摩抆學呈現的各種新特徵,以及材料、環境和不同工況條件對微機電繫統運行穩定性的影響.從微觀摩抆學角度探討瞭微機電繫統的潤滑問題,介紹瞭錶麵改性和薄膜潤滑等在解決微機電繫統潤滑問題方麵的研究現狀, 併對相關領域的工作進展進行瞭總結和展望.
대미궤전계통적미관마찰학연구현상진행료종술,개소료재미궤전계통중마찰학정현적각충신특정,이급재료、배경화불동공황조건대미궤전계통운행은정성적영향.종미관마찰학각도탐토료미궤전계통적윤활문제,개소료표면개성화박막윤활등재해결미궤전계통윤활문제방면적연구현상, 병대상관영역적공작진전진행료총결화전망.
