中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2002年
3期
566-569
,共4页
金刚石%微晶%二次形核%化学气相沉积法
金剛石%微晶%二次形覈%化學氣相沉積法
금강석%미정%이차형핵%화학기상침적법
在p-Si(100)基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜. 用XL30FEG扫描电镜、 X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究, 并对其形成机制进行了分析. 结果表明: 球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致, 球形金刚石由微晶金刚石组成, 晶粒尺寸为70～200?nm; 微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成, 呈无序分布; 球形金刚石薄膜以二次形核方式繁衍生长.
在p-Si(100)基體上用熱絲CVD法沉積瞭毬形金剛石薄膜. 用XL30FEG掃描電鏡、 X射線衍射儀及Raman光譜儀對不同沉積時間的毬形金剛石的微觀形貌及組成成分進行瞭研究, 併對其形成機製進行瞭分析. 結果錶明: 毬形金剛石的顆粒密度和形覈密度一緻, 毬形金剛石由微晶金剛石組成, 晶粒呎吋為70～200?nm; 微晶金剛石是沉積過程中快速二次形覈而形成, 呈無序分佈; 毬形金剛石薄膜以二次形覈方式繁衍生長.
재p-Si(100)기체상용열사CVD법침적료구형금강석박막. 용XL30FEG소묘전경、 X사선연사의급Raman광보의대불동침적시간적구형금강석적미관형모급조성성분진행료연구, 병대기형성궤제진행료분석. 결과표명: 구형금강석적과립밀도화형핵밀도일치, 구형금강석유미정금강석조성, 정립척촌위70～200?nm; 미정금강석시침적과정중쾌속이차형핵이형성, 정무서분포; 구형금강석박막이이차형핵방식번연생장.
