多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用
다불대계무사방미적합성급기재저개전박막중적응용
Synthesis and Applications of Tetrapolyfluoroaryl Ethers of Pentaerythritol in Lowering Interlayer Dielectric Constants
  • 万方数据
    有机化学 유궤화학
    CHINESE JOURNAL OF ORGANIC CHEMISTRY
    2000年 5期 787-789 ,共3页

    周峥嵘%丁宗彪%王全瑞%李峰%陶凤岗%徐伟%夏燚%章壮健%华中一

    주쟁영%정종표%왕전서%리봉%도봉강%서위%하일%장장건%화중일

    多氟代季戊四芳醚%氟掺杂SiO2薄膜%低介电常数 多氟代季戊四芳醚%氟摻雜SiO2薄膜%低介電常數
    다불대계무사방미%불참잡SiO2박막%저개전상수
    合成了六个多氟代季戊四芳醚类化合物,并且对部分化合物掺杂于SiO2薄膜的介电性质进行了研究.当氟原子掺杂浓度(F/Si)为1%时,薄膜介电常数K值小于3.
    합성료륙개다불대계무사방미류화합물,병차대부분화합물참잡우SiO2박막적개전성질진행료연구.당불원자참잡농도(F/Si)위1%시,박막개전상수K치소우3.
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