真空
真空
진공
VACUUM
2004年
4期
30-32
,共3页
评述现有国产扩散泵产品的进展情况,存在的不足之处,今后应努力改进的方向.讨论测量扩散泵返油率的几种方法,提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议.
評述現有國產擴散泵產品的進展情況,存在的不足之處,今後應努力改進的方嚮.討論測量擴散泵返油率的幾種方法,提齣採用石英晶體振盪器測量擴散泵返油率的新建議.
평술현유국산확산빙산품적진전정황,존재적불족지처,금후응노력개진적방향.토론측량확산빙반유솔적궤충방법,제출채용석영정체진탕기측량확산빙반유솔적신건의.
