物理学报
物理學報
물이학보
2006年
4期
2084-2091
,共8页
姜海青%姚熹%车俊%汪敏强
薑海青%姚熹%車俊%汪敏彊
강해청%요희%차준%왕민강
ZnSe/SiO2复合薄膜%光学性质%椭偏光度法%荧光光谱
ZnSe/SiO2複閤薄膜%光學性質%橢偏光度法%熒光光譜
ZnSe/SiO2복합박막%광학성질%타편광도법%형광광보
采用溶胶-凝胶工艺与原位生长技术,制备了ZnSe/SiO2复合薄膜.X射线衍射分析表明薄膜中ZnSe晶体呈立方闪锌矿结构.X射线荧光分析结果显示薄膜中Zn与Se摩尔比为1:1.01-1:1.19.利用场发射扫描电子显微镜观察了复合薄膜的表面形貌,结果表明复合薄膜表面既存在尺寸约为400nm的ZnSe晶粒,也存在尺寸小于100nm的ZnSe晶粒.利用椭偏仪测量了薄膜椭偏角Ψ,Δ与波长λ的关系,采用Maxwell-Garnett有效介质理论对薄膜的光学常数、厚度、气孔率、ZnSe的浓度进行了数据拟合.利用荧光光谱分析了薄膜的光致发光,结果表明在波长为395nm的激发光下,487nm的发射峰对应着闪锌矿型ZnSe的带边发射,同时也观测到薄膜中ZnSe晶体增强的自由激子发射及伴随着ZnSe晶体缺陷而产生的辐射发光.
採用溶膠-凝膠工藝與原位生長技術,製備瞭ZnSe/SiO2複閤薄膜.X射線衍射分析錶明薄膜中ZnSe晶體呈立方閃鋅礦結構.X射線熒光分析結果顯示薄膜中Zn與Se摩爾比為1:1.01-1:1.19.利用場髮射掃描電子顯微鏡觀察瞭複閤薄膜的錶麵形貌,結果錶明複閤薄膜錶麵既存在呎吋約為400nm的ZnSe晶粒,也存在呎吋小于100nm的ZnSe晶粒.利用橢偏儀測量瞭薄膜橢偏角Ψ,Δ與波長λ的關繫,採用Maxwell-Garnett有效介質理論對薄膜的光學常數、厚度、氣孔率、ZnSe的濃度進行瞭數據擬閤.利用熒光光譜分析瞭薄膜的光緻髮光,結果錶明在波長為395nm的激髮光下,487nm的髮射峰對應著閃鋅礦型ZnSe的帶邊髮射,同時也觀測到薄膜中ZnSe晶體增彊的自由激子髮射及伴隨著ZnSe晶體缺陷而產生的輻射髮光.
채용용효-응효공예여원위생장기술,제비료ZnSe/SiO2복합박막.X사선연사분석표명박막중ZnSe정체정립방섬자광결구.X사선형광분석결과현시박막중Zn여Se마이비위1:1.01-1:1.19.이용장발사소묘전자현미경관찰료복합박막적표면형모,결과표명복합박막표면기존재척촌약위400nm적ZnSe정립,야존재척촌소우100nm적ZnSe정립.이용타편의측량료박막타편각Ψ,Δ여파장λ적관계,채용Maxwell-Garnett유효개질이론대박막적광학상수、후도、기공솔、ZnSe적농도진행료수거의합.이용형광광보분석료박막적광치발광,결과표명재파장위395nm적격발광하,487nm적발사봉대응착섬자광형ZnSe적대변발사,동시야관측도박막중ZnSe정체증강적자유격자발사급반수착ZnSe정체결함이산생적복사발광.
