功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
2期
349-352
,共4页
同位素微电池%SU8胶%剥离工艺%表面电极
同位素微電池%SU8膠%剝離工藝%錶麵電極
동위소미전지%SU8효%박리공예%표면전겁
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值.
開髮瞭一種利用SU8膠剝離工藝製作溝槽型同位素微電池錶麵電極的新工藝,通過使用BP212正膠作為犧牲層,有效地解決瞭在製作溝槽型同位素微電池錶麵電極時,堆膠以及溝槽中SU8膠不易去除的難題.該工藝操作簡單、可靠,成本低,因此具有很大的實用價值.
개발료일충이용SU8효박리공예제작구조형동위소미전지표면전겁적신공예,통과사용BP212정효작위희생층,유효지해결료재제작구조형동위소미전지표면전겁시,퇴효이급구조중SU8효불역거제적난제.해공예조작간단、가고,성본저,인차구유흔대적실용개치.
