光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
10期
1332-1334
,共3页
衍射光学%一步激光直写%透射式相位光栅%衍射效率
衍射光學%一步激光直寫%透射式相位光柵%衍射效率
연사광학%일보격광직사%투사식상위광책%연사효솔
利用一步激光直写灰阶光刻方法制作了具有连续浮雕结构的透射式相位光栅.原子力显微镜测量结果表明制作的透射式相位光栅具有连续外形轮廓、理想的周期和深度.飞秒激光实验系统测量的光栅的衍射效率结果表明:最大衍射角效率为66.8%、零级能量仅为入射光能量的3.3%,这在光限幅中有重要应用价值.
利用一步激光直寫灰階光刻方法製作瞭具有連續浮彫結構的透射式相位光柵.原子力顯微鏡測量結果錶明製作的透射式相位光柵具有連續外形輪廓、理想的週期和深度.飛秒激光實驗繫統測量的光柵的衍射效率結果錶明:最大衍射角效率為66.8%、零級能量僅為入射光能量的3.3%,這在光限幅中有重要應用價值.
이용일보격광직사회계광각방법제작료구유련속부조결구적투사식상위광책.원자력현미경측량결과표명제작적투사식상위광책구유련속외형륜곽、이상적주기화심도.비초격광실험계통측량적광책적연사효솔결과표명:최대연사각효솔위66.8%、령급능량부위입사광능량적3.3%,저재광한폭중유중요응용개치.
