激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2009年
4期
33-37
,共5页
郭延龙%孙有文%王淑云%王小兵%程勇%卢常勇
郭延龍%孫有文%王淑雲%王小兵%程勇%盧常勇
곽연룡%손유문%왕숙운%왕소병%정용%로상용
薄膜%类金刚石膜%非金属掺杂类金刚石膜%保护膜
薄膜%類金剛石膜%非金屬摻雜類金剛石膜%保護膜
박막%류금강석막%비금속참잡류금강석막%보호막
非金属掺杂类金刚石(DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的一些性能.例如:掺磷DLC膜电阻率小,还可以明显提高其血液相容性;掺氮DLC膜不仅电阻率小,可作为半导体材料.还具有热稳定性好的优点;掺氟DLC膜在憎水性、耐蚀性、热稳定性和降低介电常数等方面更为优异;硅掺杂使膜中氢含量减少、内应力减小、粗糙度和摩擦系数降低.对非金属掺杂DLC膜的进展做了概括及分析,展现出其广泛的应用前景.
非金屬摻雜類金剛石(DLC)膜可以優化純類金剛石膜的一些性能.例如:摻燐DLC膜電阻率小,還可以明顯提高其血液相容性;摻氮DLC膜不僅電阻率小,可作為半導體材料.還具有熱穩定性好的優點;摻氟DLC膜在憎水性、耐蝕性、熱穩定性和降低介電常數等方麵更為優異;硅摻雜使膜中氫含量減少、內應力減小、粗糙度和摩抆繫數降低.對非金屬摻雜DLC膜的進展做瞭概括及分析,展現齣其廣汎的應用前景.
비금속참잡류금강석(DLC)막가이우화순류금강석막적일사성능.례여:참린DLC막전조솔소,환가이명현제고기혈액상용성;참담DLC막불부전조솔소,가작위반도체재료.환구유열은정성호적우점;참불DLC막재증수성、내식성、열은정성화강저개전상수등방면경위우이;규참잡사막중경함량감소、내응력감소、조조도화마찰계수강저.대비금속참잡DLC막적진전주료개괄급분석,전현출기엄범적응용전경.
