稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
2期
294-300
,共7页
张晓化%刘道新%刘国华%王振亚%唐宾
張曉化%劉道新%劉國華%王振亞%唐賓
장효화%류도신%류국화%왕진아%당빈
微动疲劳%微动磨损%纳米多层膜%磁控溅射%钛合金
微動疲勞%微動磨損%納米多層膜%磁控濺射%鈦閤金
미동피로%미동마손%납미다층막%자공천사%태합금
在Ti811钛合金表面利用离子辅助磁控溅射沉积技术制备20～1200 nm不同调制周期的Cu/Ni金属多层膜,分析多层膜的结构,测试膜基结合强度、膜层显微硬度和韧性,对比研究不同调制周期的Cu/Ni多层膜对钛合金基材常温下微动磨损性能和微动疲劳(FF)抗力的影响.结果表明:利用离子辅助磁控溅射技术可以获得致密度高、晶粒细化、膜基结合强度高的Cu/Ni多层膜,该类多层膜具有良好的减摩润滑作用,因而改善了Ti811钛合金常温下抗微动磨损和微动疲劳性能;Cu/Ni多层膜对钛合金FF抗力的改善程度随膜层调制周期呈现非单调变化趋势,调制周期为200 nm的Cu/Ni多层膜对钛合金FF抗力的提高程度最大,因为归于该膜层具有良好的强韧和润滑综合性能.
在Ti811鈦閤金錶麵利用離子輔助磁控濺射沉積技術製備20～1200 nm不同調製週期的Cu/Ni金屬多層膜,分析多層膜的結構,測試膜基結閤彊度、膜層顯微硬度和韌性,對比研究不同調製週期的Cu/Ni多層膜對鈦閤金基材常溫下微動磨損性能和微動疲勞(FF)抗力的影響.結果錶明:利用離子輔助磁控濺射技術可以穫得緻密度高、晶粒細化、膜基結閤彊度高的Cu/Ni多層膜,該類多層膜具有良好的減摩潤滑作用,因而改善瞭Ti811鈦閤金常溫下抗微動磨損和微動疲勞性能;Cu/Ni多層膜對鈦閤金FF抗力的改善程度隨膜層調製週期呈現非單調變化趨勢,調製週期為200 nm的Cu/Ni多層膜對鈦閤金FF抗力的提高程度最大,因為歸于該膜層具有良好的彊韌和潤滑綜閤性能.
재Ti811태합금표면이용리자보조자공천사침적기술제비20～1200 nm불동조제주기적Cu/Ni금속다층막,분석다층막적결구,측시막기결합강도、막층현미경도화인성,대비연구불동조제주기적Cu/Ni다층막대태합금기재상온하미동마손성능화미동피로(FF)항력적영향.결과표명:이용리자보조자공천사기술가이획득치밀도고、정립세화、막기결합강도고적Cu/Ni다층막,해류다층막구유량호적감마윤활작용,인이개선료Ti811태합금상온하항미동마손화미동피로성능;Cu/Ni다층막대태합금FF항력적개선정도수막층조제주기정현비단조변화추세,조제주기위200 nm적Cu/Ni다층막대태합금FF항력적제고정도최대,인위귀우해막층구유량호적강인화윤활종합성능.
