光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
10期
2349-2354
,共6页
干涉检测%成像畸变%测量精度%误差校正
榦涉檢測%成像畸變%測量精度%誤差校正
간섭검측%성상기변%측량정도%오차교정
根据光学系统的波像差理论和干涉检测原理,分析了干涉仪系统的成像畸变对测量结果的影响,提出了对干涉仪系统的成像畸变进行标定和校正的方法.重点讨论了被测面的摆放存在倾斜和离焦两种情况下产生的测量误差,并提出了误差校正方法.实验中对同一个被测面进行多次测量,结果显示,干涉图样为3个条纹时的面形测量结果为30.96nm PV,6.32 nm RMS,10个条纹时的面形测量结果为41.25 nm PV,8.22 nm RMS.校正后两次测量的PV值差降低到1.42 nm,RMS值差为0.4nm.实验结果表明:提出的畸变校正方法可以有效地降低测量误差,提高测量结果的复现性,为高精度面形测量提供参考.
根據光學繫統的波像差理論和榦涉檢測原理,分析瞭榦涉儀繫統的成像畸變對測量結果的影響,提齣瞭對榦涉儀繫統的成像畸變進行標定和校正的方法.重點討論瞭被測麵的襬放存在傾斜和離焦兩種情況下產生的測量誤差,併提齣瞭誤差校正方法.實驗中對同一箇被測麵進行多次測量,結果顯示,榦涉圖樣為3箇條紋時的麵形測量結果為30.96nm PV,6.32 nm RMS,10箇條紋時的麵形測量結果為41.25 nm PV,8.22 nm RMS.校正後兩次測量的PV值差降低到1.42 nm,RMS值差為0.4nm.實驗結果錶明:提齣的畸變校正方法可以有效地降低測量誤差,提高測量結果的複現性,為高精度麵形測量提供參攷.
근거광학계통적파상차이론화간섭검측원리,분석료간섭의계통적성상기변대측량결과적영향,제출료대간섭의계통적성상기변진행표정화교정적방법.중점토론료피측면적파방존재경사화리초량충정황하산생적측량오차,병제출료오차교정방법.실험중대동일개피측면진행다차측량,결과현시,간섭도양위3개조문시적면형측량결과위30.96nm PV,6.32 nm RMS,10개조문시적면형측량결과위41.25 nm PV,8.22 nm RMS.교정후량차측량적PV치차강저도1.42 nm,RMS치차위0.4nm.실험결과표명:제출적기변교정방법가이유효지강저측량오차,제고측량결과적복현성,위고정도면형측량제공삼고.
