微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
11期
739-743
,共5页
柏洋%赵岩%金成刚%余涛%吴雪梅%诸葛兰剑
柏洋%趙巖%金成剛%餘濤%吳雪梅%諸葛蘭劍
백양%조암%금성강%여도%오설매%제갈란검
螺旋波%等离子体源%磁场%刻蚀%薄膜沉积%火箭推进
螺鏇波%等離子體源%磁場%刻蝕%薄膜沉積%火箭推進
라선파%등리자체원%자장%각식%박막침적%화전추진
首先介绍了螺旋波的定义、螺旋波等离子体源产生等离子体所需条件的工作范围以及螺旋波等离子体源主要的一些应用.按照所加磁场范围的不同(分为在磁感应强度为100～1 600 Gs和在强磁场中两部分),分别进一步讨论了国内外各研究小组研制的等离子体源的运行参数及技术特点.随后介绍了螺旋波等离子体源在刻蚀、薄膜沉积和火箭推进三个方面的应用进展.其中重点介绍了螺旋波等离子体火箭推进.最后简单展望了螺旋波等离子体源的应用前景,并指出其发展中尚待解决的一些问题.
首先介紹瞭螺鏇波的定義、螺鏇波等離子體源產生等離子體所需條件的工作範圍以及螺鏇波等離子體源主要的一些應用.按照所加磁場範圍的不同(分為在磁感應彊度為100～1 600 Gs和在彊磁場中兩部分),分彆進一步討論瞭國內外各研究小組研製的等離子體源的運行參數及技術特點.隨後介紹瞭螺鏇波等離子體源在刻蝕、薄膜沉積和火箭推進三箇方麵的應用進展.其中重點介紹瞭螺鏇波等離子體火箭推進.最後簡單展望瞭螺鏇波等離子體源的應用前景,併指齣其髮展中尚待解決的一些問題.
수선개소료라선파적정의、라선파등리자체원산생등리자체소수조건적공작범위이급라선파등리자체원주요적일사응용.안조소가자장범위적불동(분위재자감응강도위100～1 600 Gs화재강자장중량부분),분별진일보토론료국내외각연구소조연제적등리자체원적운행삼수급기술특점.수후개소료라선파등리자체원재각식、박막침적화화전추진삼개방면적응용진전.기중중점개소료라선파등리자체화전추진.최후간단전망료라선파등리자체원적응용전경,병지출기발전중상대해결적일사문제.
