固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2012年
2期
141-144
,共4页
侯智昊%朱锋%郁元卫%朱健
侯智昊%硃鋒%鬱元衛%硃健
후지호%주봉%욱원위%주건
射频微机电系统开关%串联接触式%毫米波
射頻微機電繫統開關%串聯接觸式%毫米波
사빈미궤전계통개관%천련접촉식%호미파
设计了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关.为了在毫米波波段获得较高的隔离度,通过使用短截线结构,以降低输入输出端口的耦合电容.为了获得可靠的金属接触,设计了一种改进型的“蟹形”桥结构.测试结果显示,在30 GHz,插入损耗为-0.3dB,隔离度为-20 dB.在DC～40 GHz的频率范围内,插入损耗优于-0.5 dB,隔离度优于-20 dB.所设计的串联接触式RF MEMS开关,可应用于20～40 GHz的频率范围内.
設計瞭一種應用于毫米波波段的串聯接觸式RF MEMS開關.為瞭在毫米波波段穫得較高的隔離度,通過使用短截線結構,以降低輸入輸齣耑口的耦閤電容.為瞭穫得可靠的金屬接觸,設計瞭一種改進型的“蟹形”橋結構.測試結果顯示,在30 GHz,插入損耗為-0.3dB,隔離度為-20 dB.在DC～40 GHz的頻率範圍內,插入損耗優于-0.5 dB,隔離度優于-20 dB.所設計的串聯接觸式RF MEMS開關,可應用于20～40 GHz的頻率範圍內.
설계료일충응용우호미파파단적천련접촉식RF MEMS개관.위료재호미파파단획득교고적격리도,통과사용단절선결구,이강저수입수출단구적우합전용.위료획득가고적금속접촉,설계료일충개진형적“해형”교결구.측시결과현시,재30 GHz,삽입손모위-0.3dB,격리도위-20 dB.재DC～40 GHz적빈솔범위내,삽입손모우우-0.5 dB,격리도우우-20 dB.소설계적천련접촉식RF MEMS개관,가응용우20～40 GHz적빈솔범위내.
