传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2004年
7期
71-73
,共3页
MEMS 膜%隔离度%插入损耗%共面波导
MEMS 膜%隔離度%插入損耗%共麵波導
MEMS 막%격리도%삽입손모%공면파도
为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题,提出了一种独特结构的MEMS微波开关-扭转臂杠杆式膜开关,并对其进行了理论分析,用conventor ware和ADS(advanced design system)软件进行了仿真.由于利用了膜结构以及扭转臂和杠杆的原理,这种独特的MEMS微波开关激励电压比较低、隔离度较高、插入损耗比较低、稳定性好.
為解決現有的MEMS微波開關的激勵電壓太高、微連接和膜開關的擊穿電壓等問題,提齣瞭一種獨特結構的MEMS微波開關-扭轉臂槓桿式膜開關,併對其進行瞭理論分析,用conventor ware和ADS(advanced design system)軟件進行瞭倣真.由于利用瞭膜結構以及扭轉臂和槓桿的原理,這種獨特的MEMS微波開關激勵電壓比較低、隔離度較高、插入損耗比較低、穩定性好.
위해결현유적MEMS미파개관적격려전압태고、미련접화막개관적격천전압등문제,제출료일충독특결구적MEMS미파개관-뉴전비강간식막개관,병대기진행료이론분석,용conventor ware화ADS(advanced design system)연건진행료방진.유우이용료막결구이급뉴전비화강간적원리,저충독특적MEMS미파개관격려전압비교저、격리도교고、삽입손모비교저、은정성호.
