真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2005年
3期
46-48
,共3页
设备%真空炉%技术升级%设计
設備%真空爐%技術升級%設計
설비%진공로%기술승급%설계
老式真空炉由于采用了油扩散泵和手动控温方式,存在真空系统被油污染和控温精度差的问题,严重影响了真空工艺质量.本文介绍了一种在真空系统和电控加热方面升级的思路和依据,以较少的投入实现了设备的升级.
老式真空爐由于採用瞭油擴散泵和手動控溫方式,存在真空繫統被油汙染和控溫精度差的問題,嚴重影響瞭真空工藝質量.本文介紹瞭一種在真空繫統和電控加熱方麵升級的思路和依據,以較少的投入實現瞭設備的升級.
로식진공로유우채용료유확산빙화수동공온방식,존재진공계통피유오염화공온정도차적문제,엄중영향료진공공예질량.본문개소료일충재진공계통화전공가열방면승급적사로화의거,이교소적투입실현료설비적승급.
