光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2005年
4期
3-7
,共5页
原子力显微镜%微位移%模板匹配%序列图像
原子力顯微鏡%微位移%模闆匹配%序列圖像
원자력현미경%미위이%모판필배%서렬도상
提出了一种测量物体微位移的新方法.原子力显微镜作为测量工具,样品和扫描器置于待测物体上,物体每移动一定距离就由AFM扫描获得一幅样品图像,由此获得一系列连续的序列图像.采用模板匹配方法检测相邻序列图像的偏移,从而可计算出物体的微位移.实验结果表明,用该方法还可实现物体二维方向的微位移测量,且精度达到纳米量级.
提齣瞭一種測量物體微位移的新方法.原子力顯微鏡作為測量工具,樣品和掃描器置于待測物體上,物體每移動一定距離就由AFM掃描穫得一幅樣品圖像,由此穫得一繫列連續的序列圖像.採用模闆匹配方法檢測相鄰序列圖像的偏移,從而可計算齣物體的微位移.實驗結果錶明,用該方法還可實現物體二維方嚮的微位移測量,且精度達到納米量級.
제출료일충측량물체미위이적신방법.원자력현미경작위측량공구,양품화소묘기치우대측물체상,물체매이동일정거리취유AFM소묘획득일폭양품도상,유차획득일계렬련속적서렬도상.채용모판필배방법검측상린서렬도상적편이,종이가계산출물체적미위이.실험결과표명,용해방법환가실현물체이유방향적미위이측량,차정도체도납미량급.
