CAJ | 학술논문

本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm～10 nm)的纳米多层膜.利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构和机械性能,分析了不同调制周期对薄膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的机械性能普遍优于两种个体材料的混合相;在调制周期为8.6 nm时,显示出强的ZrN(111),W(110)织构和较弱的ZrN(220)峰,与其他条件下制备的样品比较,它具有较高的硬度(～26 GPa),较高的弹性模量(～310 GPa)和较强的膜基结合力(～80 mN).低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构.
본문이용고진공리자속보조침적계통(IBAD)재실온하제비구유납미척촌적ZrN/W다층막,통과개변쌍파적침적시간,합성일계렬적구유불동조제주기(3 nm～10 nm)적납미다층막.이용AES,XRD화납미역학측시계통,표면형모의표정료박막적성분、결구화궤계성능,분석료불동조제주기대박막결구여궤계성능적영향.결과표명:다층막적궤계성능보편우우량충개체재료적혼합상;재조제주기위8.6 nm시,현시출강적ZrN(111),W(110)직구화교약적ZrN(220)봉,여기타조건하제비적양품비교,타구유교고적경도(～26 GPa),교고적탄성모량(～310 GPa)화교강적막기결합력(～80 mN).저각도XRD분석증명료박막적다층결구.