纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2007年
4期
323-326
,共4页
朱神渺%杜立群%刘冲%喻立川%王治宏
硃神渺%杜立群%劉遲%喻立川%王治宏
주신묘%두립군%류충%유립천%왕치굉
SU-8胶%内应力%正交实验%BP神经网络
SU-8膠%內應力%正交實驗%BP神經網絡
SU-8효%내응력%정교실험%BP신경망락
以薄膜内应力为指标,对SU-8负性光刻胶的工艺参数进行了优化.根据基片曲率法的原理,通过三因素三水平的正交实验,测量了9组不同工艺条件下SU-8胶层内应力的大小.引入模糊神经网络,对影响SU-8胶内应力的工艺参数进行了优化仿真研究.以正交实验数据为样本,对模糊神经网络进行训练,建立了SU-8胶内应力的大小与前烘温度、曝光剂量和后烘温度3个主要参数之间的预测模型.同时对网络预测结果进行了实验验证,两者结果基本吻合.利用网络优化结果,有效地降低了胶层内应力.
以薄膜內應力為指標,對SU-8負性光刻膠的工藝參數進行瞭優化.根據基片麯率法的原理,通過三因素三水平的正交實驗,測量瞭9組不同工藝條件下SU-8膠層內應力的大小.引入模糊神經網絡,對影響SU-8膠內應力的工藝參數進行瞭優化倣真研究.以正交實驗數據為樣本,對模糊神經網絡進行訓練,建立瞭SU-8膠內應力的大小與前烘溫度、曝光劑量和後烘溫度3箇主要參數之間的預測模型.同時對網絡預測結果進行瞭實驗驗證,兩者結果基本吻閤.利用網絡優化結果,有效地降低瞭膠層內應力.
이박막내응력위지표,대SU-8부성광각효적공예삼수진행료우화.근거기편곡솔법적원리,통과삼인소삼수평적정교실험,측량료9조불동공예조건하SU-8효층내응력적대소.인입모호신경망락,대영향SU-8효내응력적공예삼수진행료우화방진연구.이정교실험수거위양본,대모호신경망락진행훈련,건립료SU-8효내응력적대소여전홍온도、폭광제량화후홍온도3개주요삼수지간적예측모형.동시대망락예측결과진행료실험험증,량자결과기본문합.이용망락우화결과,유효지강저료효층내응력.
