哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
4期
90-93
,共4页
MEMS电容开关%膜桥结构%有限元%驱动电压
MEMS電容開關%膜橋結構%有限元%驅動電壓
MEMS전용개관%막교결구%유한원%구동전압
设计了膜桥支撑梁为弹簧弯曲结构的MEMS电容开关,应用有限元软件Intellisuite对开关静电驱动特性进行仿真,得到开关驱动电压,并分析不同膜桥材料对MEMS电容开关驱动电压的影响.结果表明,与固支结构悬臂梁相比,弹簧弯曲结构悬臂梁支撑的电容开关具有更低的驱动电压,由杨氏模量小的膜桥材料构成的开关具有比其他材料更低的驱动电压.
設計瞭膜橋支撐樑為彈簧彎麯結構的MEMS電容開關,應用有限元軟件Intellisuite對開關靜電驅動特性進行倣真,得到開關驅動電壓,併分析不同膜橋材料對MEMS電容開關驅動電壓的影響.結果錶明,與固支結構懸臂樑相比,彈簧彎麯結構懸臂樑支撐的電容開關具有更低的驅動電壓,由楊氏模量小的膜橋材料構成的開關具有比其他材料更低的驅動電壓.
설계료막교지탱량위탄황만곡결구적MEMS전용개관,응용유한원연건Intellisuite대개관정전구동특성진행방진,득도개관구동전압,병분석불동막교재료대MEMS전용개관구동전압적영향.결과표명,여고지결구현비량상비,탄황만곡결구현비량지탱적전용개관구유경저적구동전압,유양씨모량소적막교재료구성적개관구유비기타재료경저적구동전압.
