CAJ | 학술논문

研究了基于硅基集成光波导的马赫-曾德干涉仪(MZI)型化学传感芯片的设计、制备及相关敏感特性的模拟和分析.传感芯片采用硅基二氧化硅光波导材料,利用与传统互补型金属氧化物半导体(CMOS)兼容的工艺技术制作.通过波导的单模设计以及对MZI结构的优化,获得了有效折射率分辨率达到10-7量级的高灵敏度传感芯片.作为化学传感器,把MZI的其中一臂设计成传感臂.并进行适当的表面修饰,可制作出高灵敏度的干涉型光波导化学传感器.最后,对该传感器的折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟,同时,对面临的关键问题进行了分析和讨论.
연구료기우규기집성광파도적마혁-증덕간섭의(MZI)형화학전감심편적설계、제비급상관민감특성적모의화분석.전감심편채용규기이양화규광파도재료,이용여전통호보형금속양화물반도체(CMOS)겸용적공예기술제작.통과파도적단모설계이급대MZI결구적우화,획득료유효절사솔분변솔체도10-7량급적고령민도전감심편.작위화학전감기,파MZI적기중일비설계성전감비.병진행괄당적표면수식,가제작출고령민도적간섭형광파도화학전감기.최후,대해전감기적절사솔분변솔、민감특성등진행료분석、모의,동시,대면림적관건문제진행료분석화토론.