真空
真空
진공
VACUUM
2011年
1期
43-45
,共3页
李学超%李长生%晋跃%陈娟%莫超超%朱秉莹
李學超%李長生%晉躍%陳娟%莫超超%硃秉瑩
리학초%리장생%진약%진연%막초초%주병형
双靶磁控溅射%TiAIlN薄膜%WTiN薄膜%摩擦性能
雙靶磁控濺射%TiAIlN薄膜%WTiN薄膜%摩抆性能
쌍파자공천사%TiAIlN박막%WTiN박막%마찰성능
采用双靶反应磁控溅射的方法在40Cr基体上制备了TiAIN薄膜和WTiN薄膜.用XRD,SEM.AFM等检测手段对薄膜的表面状态及结构等进行了表征,采用UMT-3型多功能摩擦试验机,在室温、大气环境、无润滑的条件下对TiAIN和WTiN薄膜的摩擦性能进行了评价.实验结果表明:TiAIN薄膜出现了两种硬质相TiN与TiAIN共存的物相结构,而WTiN薄膜出现了TiN0.600.4,TiN,W2N,WN等多种物相结构;制备的TiAIN、WTiN薄膜表面晶粒均匀细小,生长均以粒状结构为主;摩擦实验数据表明制备的TiAIN和WTiN薄膜均拥有良好的摩擦性能.
採用雙靶反應磁控濺射的方法在40Cr基體上製備瞭TiAIN薄膜和WTiN薄膜.用XRD,SEM.AFM等檢測手段對薄膜的錶麵狀態及結構等進行瞭錶徵,採用UMT-3型多功能摩抆試驗機,在室溫、大氣環境、無潤滑的條件下對TiAIN和WTiN薄膜的摩抆性能進行瞭評價.實驗結果錶明:TiAIN薄膜齣現瞭兩種硬質相TiN與TiAIN共存的物相結構,而WTiN薄膜齣現瞭TiN0.600.4,TiN,W2N,WN等多種物相結構;製備的TiAIN、WTiN薄膜錶麵晶粒均勻細小,生長均以粒狀結構為主;摩抆實驗數據錶明製備的TiAIN和WTiN薄膜均擁有良好的摩抆性能.
채용쌍파반응자공천사적방법재40Cr기체상제비료TiAIN박막화WTiN박막.용XRD,SEM.AFM등검측수단대박막적표면상태급결구등진행료표정,채용UMT-3형다공능마찰시험궤,재실온、대기배경、무윤활적조건하대TiAIN화WTiN박막적마찰성능진행료평개.실험결과표명:TiAIN박막출현료량충경질상TiN여TiAIN공존적물상결구,이WTiN박막출현료TiN0.600.4,TiN,W2N,WN등다충물상결구;제비적TiAIN、WTiN박막표면정립균균세소,생장균이립상결구위주;마찰실험수거표명제비적TiAIN화WTiN박막균옹유량호적마찰성능.
