微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
3期
22-25
,共4页
余国彬%罗先刚%姚汉民%严佩英%胡松%严伟
餘國彬%囉先剛%姚漢民%嚴珮英%鬍鬆%嚴偉
여국빈%라선강%요한민%엄패영%호송%엄위
光学光刻%离轴照明%偏振光%空间成像
光學光刻%離軸照明%偏振光%空間成像
광학광각%리축조명%편진광%공간성상
在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响.主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响.发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响了离轴照明空间成像,结果表明可以通过控制照明光的偏振态来改善光学系统的分辨率.
在投影光刻中矢量衍射理論適用于研究照明光的偏振態對空間成像的影響.主要研究瞭在離軸照明方式下照明光的偏振態對線條圖形的影響.髮現在高數值孔徑時光的偏振狀態嚴重影響瞭離軸照明空間成像,結果錶明可以通過控製照明光的偏振態來改善光學繫統的分辨率.
재투영광각중시량연사이론괄용우연구조명광적편진태대공간성상적영향.주요연구료재리축조명방식하조명광적편진태대선조도형적영향.발현재고수치공경시광적편진상태엄중영향료리축조명공간성상,결과표명가이통과공제조명광적편진태래개선광학계통적분변솔.
