分析仪器
分析儀器
분석의기
ANALYTICAL INSTRUMENTATION
2007年
3期
9-12
,共4页
微电子机械系统%气相色谱仪%微热导检测器%微进样系统%微细加工
微電子機械繫統%氣相色譜儀%微熱導檢測器%微進樣繫統%微細加工
미전자궤계계통%기상색보의%미열도검측기%미진양계통%미세가공
介绍了一种采用微电子机械系统(MEMS)的新型微型气相色谱仪,重点介绍了微进样系统、微热导检测器(TCD)的设计和制做技术.通过微细加工技术,将微通道、微阀、微检测器等三维器件像IC芯片一样集成在硅片上,并将这些关键器件和常规的毛细管分析柱连用,达到快速、高灵敏度和经济的样品分析.该仪器具有便于携带、功耗低、能在线分析、使用简单等特点.
介紹瞭一種採用微電子機械繫統(MEMS)的新型微型氣相色譜儀,重點介紹瞭微進樣繫統、微熱導檢測器(TCD)的設計和製做技術.通過微細加工技術,將微通道、微閥、微檢測器等三維器件像IC芯片一樣集成在硅片上,併將這些關鍵器件和常規的毛細管分析柱連用,達到快速、高靈敏度和經濟的樣品分析.該儀器具有便于攜帶、功耗低、能在線分析、使用簡單等特點.
개소료일충채용미전자궤계계통(MEMS)적신형미형기상색보의,중점개소료미진양계통、미열도검측기(TCD)적설계화제주기술.통과미세가공기술,장미통도、미벌、미검측기등삼유기건상IC심편일양집성재규편상,병장저사관건기건화상규적모세관분석주련용,체도쾌속、고령민도화경제적양품분석.해의기구유편우휴대、공모저、능재선분석、사용간단등특점.
