外加电压对激光电化学刻蚀硅的影响研究
외가전압대격광전화학각식규적영향연구
The study of the voltage effect on laser-induced electrochemical etching of silicon
  • 万方数据
    激光杂志 격광잡지
    LASER JOURNAL
    2009年 4期 60-61 ,共2页

    龙芋宏%史铁林%熊良才%柳海鹏

    룡우굉%사철림%웅량재%류해붕

    准分子激光%电化学%刻蚀%硅%电压 準分子激光%電化學%刻蝕%硅%電壓
    준분자격광%전화학%각식%규%전압
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