西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2010年
12期
50-54
,共5页
邵先军%马跃%李娅西%张增辉%张冠军
邵先軍%馬躍%李婭西%張增輝%張冠軍
소선군%마약%리아서%장증휘%장관군
直流辉光放电%低温等离子体%电子能量%数值模拟
直流輝光放電%低溫等離子體%電子能量%數值模擬
직류휘광방전%저온등리자체%전자능량%수치모의
建立了一维氩气直流辉光放电自洽流体模型,采用对流与扩散方程来描述带电粒子在间隙中迁移、扩散以及电子的能量变化过程,并考虑了空间电荷对电场的影响以及离子撞击阴极产生的二次电子发射作用.采用有限元法对放电模型进行数值求解,得到了放电电流随时间的演化波形,以及放电稳定后带电粒子的浓度与总通量密度的空间分布,同时也求得了电子能量与电场的空间分布.计算结果表明:加压25μs后,放电逐渐趋于稳定状态;当放电稳定后,在阴极位降区附近,离子密度比电子密度高几个数量级,在正柱区附近两者浓度几乎相等;电子能量在阴极位降区内达到峰值29 eV,而在负辉区及正柱区几乎保持不变;放电电流密度在阴极位降区主要由流向阴极的氩离子及其产生的二次电子所贡献,而在负辉区和正柱区,电子成了放电电流密度的主要贡献者.
建立瞭一維氬氣直流輝光放電自洽流體模型,採用對流與擴散方程來描述帶電粒子在間隙中遷移、擴散以及電子的能量變化過程,併攷慮瞭空間電荷對電場的影響以及離子撞擊陰極產生的二次電子髮射作用.採用有限元法對放電模型進行數值求解,得到瞭放電電流隨時間的縯化波形,以及放電穩定後帶電粒子的濃度與總通量密度的空間分佈,同時也求得瞭電子能量與電場的空間分佈.計算結果錶明:加壓25μs後,放電逐漸趨于穩定狀態;噹放電穩定後,在陰極位降區附近,離子密度比電子密度高幾箇數量級,在正柱區附近兩者濃度幾乎相等;電子能量在陰極位降區內達到峰值29 eV,而在負輝區及正柱區幾乎保持不變;放電電流密度在陰極位降區主要由流嚮陰極的氬離子及其產生的二次電子所貢獻,而在負輝區和正柱區,電子成瞭放電電流密度的主要貢獻者.
건립료일유아기직류휘광방전자흡류체모형,채용대류여확산방정래묘술대전입자재간극중천이、확산이급전자적능량변화과정,병고필료공간전하대전장적영향이급리자당격음겁산생적이차전자발사작용.채용유한원법대방전모형진행수치구해,득도료방전전류수시간적연화파형,이급방전은정후대전입자적농도여총통량밀도적공간분포,동시야구득료전자능량여전장적공간분포.계산결과표명:가압25μs후,방전축점추우은정상태;당방전은정후,재음겁위강구부근,리자밀도비전자밀도고궤개수량급,재정주구부근량자농도궤호상등;전자능량재음겁위강구내체도봉치29 eV,이재부휘구급정주구궤호보지불변;방전전류밀도재음겁위강구주요유류향음겁적아리자급기산생적이차전자소공헌,이재부휘구화정주구,전자성료방전전류밀도적주요공헌자.
