红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
12期
2403-2407
,共5页
程勇%王会升%郭延龙%王淑云%陆益敏%黄国俊%万强
程勇%王會升%郭延龍%王淑雲%陸益敏%黃國俊%萬彊
정용%왕회승%곽연룡%왕숙운%륙익민%황국준%만강
红外窗口%增透膜%保护膜%类金刚石膜%飞秒激光
紅外窗口%增透膜%保護膜%類金剛石膜%飛秒激光
홍외창구%증투막%보호막%류금강석막%비초격광
脉冲激光沉积法是一种制备类金刚石膜(DLC膜)的新技术.总结了脉冲激光法制备DLC膜在激光源、脉宽、沉积气氛及薄膜掺杂等方面的发展趋势.建立了飞秒脉冲激光沉积DLC膜系统,在不同的沉积条件下(如:真空、氧气氛、掺硅等)开展了实验研究,阐明了不同沉积条件对DLC膜性能的影响规律.在硅、锗红外窗口上镀制了工程实用的DLC增透保护膜,平均透过率超过90％,纳米硬度高达44 GPa,镀膜窗口通过了军标的盐雾、重摩擦等试验,满足海面等恶劣环境使用要求.
脈遲激光沉積法是一種製備類金剛石膜(DLC膜)的新技術.總結瞭脈遲激光法製備DLC膜在激光源、脈寬、沉積氣氛及薄膜摻雜等方麵的髮展趨勢.建立瞭飛秒脈遲激光沉積DLC膜繫統,在不同的沉積條件下(如:真空、氧氣氛、摻硅等)開展瞭實驗研究,闡明瞭不同沉積條件對DLC膜性能的影響規律.在硅、鍺紅外窗口上鍍製瞭工程實用的DLC增透保護膜,平均透過率超過90％,納米硬度高達44 GPa,鍍膜窗口通過瞭軍標的鹽霧、重摩抆等試驗,滿足海麵等噁劣環境使用要求.
맥충격광침적법시일충제비류금강석막(DLC막)적신기술.총결료맥충격광법제비DLC막재격광원、맥관、침적기분급박막참잡등방면적발전추세.건립료비초맥충격광침적DLC막계통,재불동적침적조건하(여:진공、양기분、참규등)개전료실험연구,천명료불동침적조건대DLC막성능적영향규률.재규、타홍외창구상도제료공정실용적DLC증투보호막,평균투과솔초과90％,납미경도고체44 GPa,도막창구통과료군표적염무、중마찰등시험,만족해면등악렬배경사용요구.
