传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
3期
59-61
,共3页
梁凤超%续志军%胡君%邹振书
樑鳳超%續誌軍%鬍君%鄒振書
량봉초%속지군%호군%추진서
位置敏感探测器%激光三角法%运算放大器%微弱信号
位置敏感探測器%激光三角法%運算放大器%微弱信號
위치민감탐측기%격광삼각법%운산방대기%미약신호
微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术.分析了电流一电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压.应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取.传感器工作距离为10mm,测量范围为±0.5mm,采用精度为±0.5μm脚的装置驱动钢板进行微位移测量,实验数据表明:传感器分辨力为±0.5μm,检测精度为±2%.
微弱電流的放大與處理是基于位置敏感探測器(PSD)的微位移傳感器的關鍵技術.分析瞭電流一電壓轉換原理,指齣轉換誤差主要來源于偏置電流及失調電壓.應用屏蔽、Guard、避免自激等技術設計瞭前放電路,實現瞭微弱電流信號的提取.傳感器工作距離為10mm,測量範圍為±0.5mm,採用精度為±0.5μm腳的裝置驅動鋼闆進行微位移測量,實驗數據錶明:傳感器分辨力為±0.5μm,檢測精度為±2%.
미약전류적방대여처리시기우위치민감탐측기(PSD)적미위이전감기적관건기술.분석료전류일전압전환원리,지출전환오차주요래원우편치전류급실조전압.응용병폐、Guard、피면자격등기술설계료전방전로,실현료미약전류신호적제취.전감기공작거리위10mm,측량범위위±0.5mm,채용정도위±0.5μm각적장치구동강판진행미위이측량,실험수거표명:전감기분변력위±0.5μm,검측정도위±2%.
