无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2007年
3期
565-569
,共5页
朱嘉琦%孟松鹤%陈旺寿%韩杰才
硃嘉琦%孟鬆鶴%陳旺壽%韓傑纔
주가기%맹송학%진왕수%한걸재
非晶金刚石%过滤阴极真空电弧%温度敏感性%拉曼光谱
非晶金剛石%過濾陰極真空電弧%溫度敏感性%拉曼光譜
비정금강석%과려음겁진공전호%온도민감성%랍만광보
采用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜,在-190～600 ℃范围研究非晶金刚石薄膜的温度敏感性.利用液氮泵在Linkam试验台上冷却样品并实时采样,通过炉中退火实现样品加热.分别测试可见光拉曼光谱和纳米压痕,研究薄膜的微结构和机械性能的变化.实验表明:过滤阴极真空电弧制备的非晶金刚石薄膜具有较好的热稳定性.在空气中退火到400℃,其硬度和弹性模量基本保持不变,其结构可以一直稳定到500℃,但是到600℃,薄膜因为氧化作用而快速消耗.非晶金刚石薄膜的可见光拉曼光谱显示随着温度的升高,谱峰峰位向高频偏移.在低温冷却过程中,薄膜对温度变化不敏感,其结构保持不变.
採用過濾陰極真空電弧技術製備非晶金剛石薄膜,在-190～600 ℃範圍研究非晶金剛石薄膜的溫度敏感性.利用液氮泵在Linkam試驗檯上冷卻樣品併實時採樣,通過爐中退火實現樣品加熱.分彆測試可見光拉曼光譜和納米壓痕,研究薄膜的微結構和機械性能的變化.實驗錶明:過濾陰極真空電弧製備的非晶金剛石薄膜具有較好的熱穩定性.在空氣中退火到400℃,其硬度和彈性模量基本保持不變,其結構可以一直穩定到500℃,但是到600℃,薄膜因為氧化作用而快速消耗.非晶金剛石薄膜的可見光拉曼光譜顯示隨著溫度的升高,譜峰峰位嚮高頻偏移.在低溫冷卻過程中,薄膜對溫度變化不敏感,其結構保持不變.
채용과려음겁진공전호기술제비비정금강석박막,재-190～600 ℃범위연구비정금강석박막적온도민감성.이용액담빙재Linkam시험태상냉각양품병실시채양,통과로중퇴화실현양품가열.분별측시가견광랍만광보화납미압흔,연구박막적미결구화궤계성능적변화.실험표명:과려음겁진공전호제비적비정금강석박막구유교호적열은정성.재공기중퇴화도400℃,기경도화탄성모량기본보지불변,기결구가이일직은정도500℃,단시도600℃,박막인위양화작용이쾌속소모.비정금강석박막적가견광랍만광보현시수착온도적승고,보봉봉위향고빈편이.재저온냉각과정중,박막대온도변화불민감,기결구보지불변.
