科学咨询
科學咨詢
과학자순
SCIENTIFIC CONSULT
2008年
5期
91
,共1页
薛亚飞%郑鹉%王艾玲%姜宏伟%刘丽峰%陈志争%王利娜
薛亞飛%鄭鵡%王艾玲%薑宏偉%劉麗峰%陳誌爭%王利娜
설아비%정무%왕애령%강굉위%류려봉%진지쟁%왕리나
多层膜%巨磁电阻%自旋阀.
多層膜%巨磁電阻%自鏇閥.
다층막%거자전조%자선벌.
实验采用离子束溅射的方法,在氧化硅衬底上制备了结构为Ta/Ni/Cu/Fe40Co60/Ta多层膜.研究了Cu层厚度对多层膜磁电阻的影响以及在制备Fe40Co60层和Ni层的过程中加相互垂直的外磁场对磁电阻的影响.实验发现,当Ta层厚度为5nm,Fe40Co60层厚度为6nm,Cu层厚度为2.6nm,Ni层厚度为6nm时,制备态薄膜GMR值达到1.6%,在各层厚度不变的情况下,在制备Fe40Co60层和Ni层过程中加相互垂直的外磁场可以使制备态薄膜的GMR值增加到2.3%.
實驗採用離子束濺射的方法,在氧化硅襯底上製備瞭結構為Ta/Ni/Cu/Fe40Co60/Ta多層膜.研究瞭Cu層厚度對多層膜磁電阻的影響以及在製備Fe40Co60層和Ni層的過程中加相互垂直的外磁場對磁電阻的影響.實驗髮現,噹Ta層厚度為5nm,Fe40Co60層厚度為6nm,Cu層厚度為2.6nm,Ni層厚度為6nm時,製備態薄膜GMR值達到1.6%,在各層厚度不變的情況下,在製備Fe40Co60層和Ni層過程中加相互垂直的外磁場可以使製備態薄膜的GMR值增加到2.3%.
실험채용리자속천사적방법,재양화규츤저상제비료결구위Ta/Ni/Cu/Fe40Co60/Ta다층막.연구료Cu층후도대다층막자전조적영향이급재제비Fe40Co60층화Ni층적과정중가상호수직적외자장대자전조적영향.실험발현,당Ta층후도위5nm,Fe40Co60층후도위6nm,Cu층후도위2.6nm,Ni층후도위6nm시,제비태박막GMR치체도1.6%,재각층후도불변적정황하,재제비Fe40Co60층화Ni층과정중가상호수직적외자장가이사제비태박막적GMR치증가도2.3%.
