稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2008年
z1期
763-766
,共4页
郑赞%杜丕一%赵冉%翁文剑%韩高荣
鄭讚%杜丕一%趙冉%翁文劍%韓高榮
정찬%두비일%조염%옹문검%한고영
介电可调%PST薄膜%溶胶凝胶%Zn掺杂%制备方法
介電可調%PST薄膜%溶膠凝膠%Zn摻雜%製備方法
개전가조%PST박막%용효응효%Zn참잡%제비방법
采用溶胶凝胶工艺,在ITO透明导电玻璃基板上成功地制备了Zn掺杂的Pb0.4Sr0.6TiO3(PST)铁电薄膜.XRD结果表明:550℃和600℃不同热处理条件下烧结的薄膜均呈单一的钙钛矿相结构.在不同外加直流电场下测试Zn 掺杂PST薄膜的介电性能,研究薄膜的介电可调性与热处理温度及过程的关系.发现550℃条件下制备得到的Zn掺杂PST薄膜几乎没有介电可调性,而在600℃条件下制备的Zn掺杂PST薄膜具有明显的介电可调性.另外,600℃条件下制备的Zn掺杂PST薄膜,其可调性随着保温时间和冷却时间的延长有所增加,介电损耗随保温时间和冷却时间的增大而减小.
採用溶膠凝膠工藝,在ITO透明導電玻璃基闆上成功地製備瞭Zn摻雜的Pb0.4Sr0.6TiO3(PST)鐵電薄膜.XRD結果錶明:550℃和600℃不同熱處理條件下燒結的薄膜均呈單一的鈣鈦礦相結構.在不同外加直流電場下測試Zn 摻雜PST薄膜的介電性能,研究薄膜的介電可調性與熱處理溫度及過程的關繫.髮現550℃條件下製備得到的Zn摻雜PST薄膜幾乎沒有介電可調性,而在600℃條件下製備的Zn摻雜PST薄膜具有明顯的介電可調性.另外,600℃條件下製備的Zn摻雜PST薄膜,其可調性隨著保溫時間和冷卻時間的延長有所增加,介電損耗隨保溫時間和冷卻時間的增大而減小.
채용용효응효공예,재ITO투명도전파리기판상성공지제비료Zn참잡적Pb0.4Sr0.6TiO3(PST)철전박막.XRD결과표명:550℃화600℃불동열처리조건하소결적박막균정단일적개태광상결구.재불동외가직류전장하측시Zn 참잡PST박막적개전성능,연구박막적개전가조성여열처리온도급과정적관계.발현550℃조건하제비득도적Zn참잡PST박막궤호몰유개전가조성,이재600℃조건하제비적Zn참잡PST박막구유명현적개전가조성.령외,600℃조건하제비적Zn참잡PST박막,기가조성수착보온시간화냉각시간적연장유소증가,개전손모수보온시간화냉각시간적증대이감소.
