压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2008年
3期
379-381,384
,共4页
房轩%李艳宁%丁丽丽%史晓杰%傅星%胡小唐
房軒%李豔寧%丁麗麗%史曉傑%傅星%鬍小唐
방헌%리염저%정려려%사효걸%부성%호소당
原子力显微镜%微悬臂梁%动态检测%敏感层
原子力顯微鏡%微懸臂樑%動態檢測%敏感層
원자력현미경%미현비량%동태검측%민감층
当利用微悬臂梁动态模式的基频谐振在液体环境检测微弱被测量时,液体中的流体动力阻尼导致检测灵敏度降低.针对此问题,提出了利用微悬臂梁的高次谐振进行质量检测的方法.对于相同的被测量质量变化,微悬臂梁的谐振次数越高,其频率偏移越大,从而达到比基频检测法更高的分辨力.以表面修饰三乙基氢硫基十二基铵层(敏感层)的微悬臂梁为传感元件,以CrO2-4为被测物,在原子力显微镜上检测了敏感层吸附CrO2-4前后,微悬臂梁的5～8次谐波频率的变化情况.结果显示,该质量检测法能检测出约0.82 ng的质量增量.
噹利用微懸臂樑動態模式的基頻諧振在液體環境檢測微弱被測量時,液體中的流體動力阻尼導緻檢測靈敏度降低.針對此問題,提齣瞭利用微懸臂樑的高次諧振進行質量檢測的方法.對于相同的被測量質量變化,微懸臂樑的諧振次數越高,其頻率偏移越大,從而達到比基頻檢測法更高的分辨力.以錶麵脩飾三乙基氫硫基十二基銨層(敏感層)的微懸臂樑為傳感元件,以CrO2-4為被測物,在原子力顯微鏡上檢測瞭敏感層吸附CrO2-4前後,微懸臂樑的5～8次諧波頻率的變化情況.結果顯示,該質量檢測法能檢測齣約0.82 ng的質量增量.
당이용미현비량동태모식적기빈해진재액체배경검측미약피측량시,액체중적류체동력조니도치검측령민도강저.침대차문제,제출료이용미현비량적고차해진진행질량검측적방법.대우상동적피측량질량변화,미현비량적해진차수월고,기빈솔편이월대,종이체도비기빈검측법경고적분변력.이표면수식삼을기경류기십이기안층(민감층)적미현비량위전감원건,이CrO2-4위피측물,재원자력현미경상검측료민감층흡부CrO2-4전후,미현비량적5～8차해파빈솔적변화정황.결과현시,해질량검측법능검측출약0.82 ng적질량증량.
