微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
2期
71-75
,共5页
杨红伟%黄科%陈宏泰%张世祖%任永学
楊紅偉%黃科%陳宏泰%張世祖%任永學
양홍위%황과%진굉태%장세조%임영학
大功率连续半导体激光器%电光转换效率%横向限制%微通道热沉%量子阱
大功率連續半導體激光器%電光轉換效率%橫嚮限製%微通道熱沉%量子阱
대공솔련속반도체격광기%전광전환효솔%횡향한제%미통도열침%양자정
从大功率半导体激光器的工作机理出发,对影响激光器电光转换效率的主要因素,如激光器的斜率效率ηd、阈值电流Ith、开启电压Vo、串联电阻Rs以及工作电流I等进行了分析,进而讨论了提高电光转换效率的主要技术途径.通过对应变量子阱大光腔激光器外延材料开启特性的优化、大功率激光器芯片横向限制工艺的改进以及对大功率微通道热沉制作等技术的研究,制作了808 nm连续半导体激光器阵列.在工作电流140 A时,阵列工作电压为1.83 V,输出功率145 W,电光转换效率达到56.6%.
從大功率半導體激光器的工作機理齣髮,對影響激光器電光轉換效率的主要因素,如激光器的斜率效率ηd、閾值電流Ith、開啟電壓Vo、串聯電阻Rs以及工作電流I等進行瞭分析,進而討論瞭提高電光轉換效率的主要技術途徑.通過對應變量子阱大光腔激光器外延材料開啟特性的優化、大功率激光器芯片橫嚮限製工藝的改進以及對大功率微通道熱沉製作等技術的研究,製作瞭808 nm連續半導體激光器陣列.在工作電流140 A時,陣列工作電壓為1.83 V,輸齣功率145 W,電光轉換效率達到56.6%.
종대공솔반도체격광기적공작궤리출발,대영향격광기전광전환효솔적주요인소,여격광기적사솔효솔ηd、역치전류Ith、개계전압Vo、천련전조Rs이급공작전류I등진행료분석,진이토론료제고전광전환효솔적주요기술도경.통과대응변양자정대광강격광기외연재료개계특성적우화、대공솔격광기심편횡향한제공예적개진이급대대공솔미통도열침제작등기술적연구,제작료808 nm련속반도체격광기진렬.재공작전류140 A시,진렬공작전압위1.83 V,수출공솔145 W,전광전환효솔체도56.6%.
