微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
3期
194-198
,共5页
徐征%王德佳%刘云亮%王俊尧%刘冲
徐徵%王德佳%劉雲亮%王俊堯%劉遲
서정%왕덕가%류운량%왕준요%류충
微装配%微纳流控芯片%对准%暗场照明%真空吸附
微裝配%微納流控芯片%對準%暗場照明%真空吸附
미장배%미납류공심편%대준%암장조명%진공흡부
针对微纳流控芯片等器件的对准装配问题,分析了具体操作要求,建立了一套包含显微光学观测单元、机械进给调整和器件吸取一放置等的微装配系统,采用暗场照明观测微纳结构,高精度移动平台精确调整基片与盖片之间的角度与位置,利用真空吸附的方法抓取和释放.采用该系统成功地制造了多种可用的微纳流控芯片,以玻璃微纳流控芯片的对准装配为示范开展了实验研究,对准结果表明,该系统能够完成宽53 μm,深18μm的微通道与宽3 μm,深50～260 nm的纳通道的对准连接任务.采用本系统进行芯片对准装配的方法具有仪器成本低、使用灵活和易于互换的优点,适合实验室及小批量生产使用.
針對微納流控芯片等器件的對準裝配問題,分析瞭具體操作要求,建立瞭一套包含顯微光學觀測單元、機械進給調整和器件吸取一放置等的微裝配繫統,採用暗場照明觀測微納結構,高精度移動平檯精確調整基片與蓋片之間的角度與位置,利用真空吸附的方法抓取和釋放.採用該繫統成功地製造瞭多種可用的微納流控芯片,以玻璃微納流控芯片的對準裝配為示範開展瞭實驗研究,對準結果錶明,該繫統能夠完成寬53 μm,深18μm的微通道與寬3 μm,深50～260 nm的納通道的對準連接任務.採用本繫統進行芯片對準裝配的方法具有儀器成本低、使用靈活和易于互換的優點,適閤實驗室及小批量生產使用.
침대미납류공심편등기건적대준장배문제,분석료구체조작요구,건립료일투포함현미광학관측단원、궤계진급조정화기건흡취일방치등적미장배계통,채용암장조명관측미납결구,고정도이동평태정학조정기편여개편지간적각도여위치,이용진공흡부적방법조취화석방.채용해계통성공지제조료다충가용적미납류공심편,이파리미납류공심편적대준장배위시범개전료실험연구,대준결과표명,해계통능구완성관53 μm,심18μm적미통도여관3 μm,심50～260 nm적납통도적대준련접임무.채용본계통진행심편대준장배적방법구유의기성본저、사용령활화역우호환적우점,괄합실험실급소비량생산사용.
