导航与控制
導航與控製
도항여공제
NAVIGATION AND CONTROL
2011年
2期
22-25,42
,共5页
微加速度计%静电悬浮%电容检测%相敏解调
微加速度計%靜電懸浮%電容檢測%相敏解調
미가속도계%정전현부%전용검측%상민해조
高灵敏度电容式位移检测是实现静电悬浮微加速度计闭环测控的关键技术之一.针对微加速度计径向悬浮检测的特点及指标要求,设计了高灵敏度、高精度电容式微位移检测通道.该通道主要由前置RC隔离网络与C/V转换、高共模抑制比差动放大器、二级运放、二阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调(含模拟乘法器与四阶Butterworth低通滤波)及参考载波移相等环节组成,具有灵敏度高、检测精度高、激励带宽大等特点.实验结果表明,检测通道的灵敏度为5.87V/pF,线性度为1.33%,位移检测分辨力约为7.4 nm,能够满足微加速度计闭环悬浮测控的指标要求.
高靈敏度電容式位移檢測是實現靜電懸浮微加速度計閉環測控的關鍵技術之一.針對微加速度計徑嚮懸浮檢測的特點及指標要求,設計瞭高靈敏度、高精度電容式微位移檢測通道.該通道主要由前置RC隔離網絡與C/V轉換、高共模抑製比差動放大器、二級運放、二階壓控電壓源有源帶通濾波、相敏解調(含模擬乘法器與四階Butterworth低通濾波)及參攷載波移相等環節組成,具有靈敏度高、檢測精度高、激勵帶寬大等特點.實驗結果錶明,檢測通道的靈敏度為5.87V/pF,線性度為1.33%,位移檢測分辨力約為7.4 nm,能夠滿足微加速度計閉環懸浮測控的指標要求.
고령민도전용식위이검측시실현정전현부미가속도계폐배측공적관건기술지일.침대미가속도계경향현부검측적특점급지표요구,설계료고령민도、고정도전용식미위이검측통도.해통도주요유전치RC격리망락여C/V전환、고공모억제비차동방대기、이급운방、이계압공전압원유원대통려파、상민해조(함모의승법기여사계Butterworth저통려파)급삼고재파이상등배절조성,구유령민도고、검측정도고、격려대관대등특점.실험결과표명,검측통도적령민도위5.87V/pF,선성도위1.33%,위이검측분변력약위7.4 nm,능구만족미가속도계폐배현부측공적지표요구.
