石油和化工设备
石油和化工設備
석유화화공설비
PETRO & CHEMICAL EQUIPMENT
2012年
3期
80-82
,共3页
机械密封%端面膜压%测量方法
機械密封%耑麵膜壓%測量方法
궤계밀봉%단면막압%측량방법
对现有机械密封端面膜压测量方法进行了总结,提出了微型压力传感器法、薄膜压敏电阻式压力传感器法、MEMS微传感器法等新的测量方法,并探讨了其可行性.通过分析比较,认为微型压力传感器法可适用于近期的机械密封实验中,薄膜压敏电阻式压力传感器法和MEMS微传感器法具有很高的研究价值.
對現有機械密封耑麵膜壓測量方法進行瞭總結,提齣瞭微型壓力傳感器法、薄膜壓敏電阻式壓力傳感器法、MEMS微傳感器法等新的測量方法,併探討瞭其可行性.通過分析比較,認為微型壓力傳感器法可適用于近期的機械密封實驗中,薄膜壓敏電阻式壓力傳感器法和MEMS微傳感器法具有很高的研究價值.
대현유궤계밀봉단면막압측량방법진행료총결,제출료미형압력전감기법、박막압민전조식압력전감기법、MEMS미전감기법등신적측량방법,병탐토료기가행성.통과분석비교,인위미형압력전감기법가괄용우근기적궤계밀봉실험중,박막압민전조식압력전감기법화MEMS미전감기법구유흔고적연구개치.
