强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2005年
4期
555-558
,共4页
侯晶%许乔%雷向阳%周礼书%张清华%王健
侯晶%許喬%雷嚮暘%週禮書%張清華%王健
후정%허교%뢰향양%주례서%장청화%왕건
Marangoni界面效应%数控化学抛光%去除函数%化学刻蚀
Marangoni界麵效應%數控化學拋光%去除函數%化學刻蝕
Marangoni계면효응%수공화학포광%거제함수%화학각식
利用基于Marangoni界面效应对化学抛光去除函数的理论及实验进行研究,提出采用湿法化学抛光(刻蚀)方法为大口径高精度光学元件的加工提供新的解决途径.介绍了Marangoni界面效应及其验证实验,运用WYKO轮廓仪对熔石英基片局域刻蚀前后的粗糙度进行检测,结果表明,粗糙度基本无变化,刻蚀前后粗糙度分别为0.72 nm和0.71 nm.基于Preston假设,建立了数控化学抛光理论模型,运用WYKO干涉仪观察实验现象可知,化学抛光刻蚀曲线基本上成平底陡峭的去除函数曲线,小磨头抛光是倒置的仿高斯函数曲线.
利用基于Marangoni界麵效應對化學拋光去除函數的理論及實驗進行研究,提齣採用濕法化學拋光(刻蝕)方法為大口徑高精度光學元件的加工提供新的解決途徑.介紹瞭Marangoni界麵效應及其驗證實驗,運用WYKO輪廓儀對鎔石英基片跼域刻蝕前後的粗糙度進行檢測,結果錶明,粗糙度基本無變化,刻蝕前後粗糙度分彆為0.72 nm和0.71 nm.基于Preston假設,建立瞭數控化學拋光理論模型,運用WYKO榦涉儀觀察實驗現象可知,化學拋光刻蝕麯線基本上成平底陡峭的去除函數麯線,小磨頭拋光是倒置的倣高斯函數麯線.
이용기우Marangoni계면효응대화학포광거제함수적이론급실험진행연구,제출채용습법화학포광(각식)방법위대구경고정도광학원건적가공제공신적해결도경.개소료Marangoni계면효응급기험증실험,운용WYKO륜곽의대용석영기편국역각식전후적조조도진행검측,결과표명,조조도기본무변화,각식전후조조도분별위0.72 nm화0.71 nm.기우Preston가설,건립료수공화학포광이론모형,운용WYKO간섭의관찰실험현상가지,화학포광각식곡선기본상성평저두초적거제함수곡선,소마두포광시도치적방고사함수곡선.
