传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1354-1357
,共4页
高嵘%王小静%张效翔%王敏%于茂华%谢明春
高嶸%王小靜%張效翔%王敏%于茂華%謝明春
고영%왕소정%장효상%왕민%우무화%사명춘
空气阻尼力%非线性动力学%微谐振器%MEMS
空氣阻尼力%非線性動力學%微諧振器%MEMS
공기조니력%비선성동역학%미해진기%MEMS
针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究.建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解.经过与国外实验对比,可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值,振幅峰-峰值误差仅为6%,且优于线性动力学的分析结果.为MEMS器件非线性动力学特性分析提供理论依据.
針對橫嚮振動MEMS微諧振器,計入非線性空氣阻尼力,對微諧振器非線性動力學特性進行研究.建立微諧振器非線性動力學模型,計入滑移邊界條件和稀薄氣體效應,利用FLUENT和MATLAB對Navier-Stokes方程和動力學方程進行求解.經過與國外實驗對比,可得齣攷慮非線性阻尼力的平闆振幅值非常接近實驗值,振幅峰-峰值誤差僅為6%,且優于線性動力學的分析結果.為MEMS器件非線性動力學特性分析提供理論依據.
침대횡향진동MEMS미해진기,계입비선성공기조니력,대미해진기비선성동역학특성진행연구.건립미해진기비선성동역학모형,계입활이변계조건화희박기체효응,이용FLUENT화MATLAB대Navier-Stokes방정화동역학방정진행구해.경과여국외실험대비,가득출고필비선성조니력적평판진폭치비상접근실험치,진폭봉-봉치오차부위6%,차우우선성동역학적분석결과.위MEMS기건비선성동역학특성분석제공이론의거.
