兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2008年
1期
63-66
,共4页
王春梅%杨立荣%段满珍%靳正国
王春梅%楊立榮%段滿珍%靳正國
왕춘매%양립영%단만진%근정국
电化学沉积%ZnO薄膜%沉积电压
電化學沉積%ZnO薄膜%沉積電壓
전화학침적%ZnO박막%침적전압
采用电化学沉积法制备纳米ZnO多孔薄膜.并用XRD、SEM、XPS等方法研究了沉积电压对薄膜表面形貌及薄膜表面元素态的影响.结果表明:沉积电压越大,越有利于薄膜片状晶的长大,且形成多孔结构;随着沉积电压的增大,薄膜表面从缺氧到富氧,再到缺氧;沉积电压为-1.0V时,薄膜为层状结构,其2μm厚的薄膜在可见光范围内的光透射率为75%,光学带隙宽度为3.6eV.
採用電化學沉積法製備納米ZnO多孔薄膜.併用XRD、SEM、XPS等方法研究瞭沉積電壓對薄膜錶麵形貌及薄膜錶麵元素態的影響.結果錶明:沉積電壓越大,越有利于薄膜片狀晶的長大,且形成多孔結構;隨著沉積電壓的增大,薄膜錶麵從缺氧到富氧,再到缺氧;沉積電壓為-1.0V時,薄膜為層狀結構,其2μm厚的薄膜在可見光範圍內的光透射率為75%,光學帶隙寬度為3.6eV.
채용전화학침적법제비납미ZnO다공박막.병용XRD、SEM、XPS등방법연구료침적전압대박막표면형모급박막표면원소태적영향.결과표명:침적전압월대,월유리우박막편상정적장대,차형성다공결구;수착침적전압적증대,박막표면종결양도부양,재도결양;침적전압위-1.0V시,박막위층상결구,기2μm후적박막재가견광범위내적광투사솔위75%,광학대극관도위3.6eV.
