CAJ | 학술논문

采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2 多层滤光膜,并在100,150,200,300 ℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响.结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大.随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300 ℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱.而150,200 ℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性.
채용진공열증발화전자속증발방법,제비료Al화MgF2 다층려광막,병재100,150,200,300 ℃적진공배경중진행료열처리,고찰료진공열처리온도대다층려광막광보、형모화배경은정특성적영향.결과표명,경과진공열처리후,려광막표면조조도강저,봉치투사솔승고,반관도증대.수착재실험실간조배경중방치시간적증가,미열처리이급300 ℃열처리양품적투사솔봉위향장파방향유교대적이동,봉치투사솔강저,가견광억제특성감약.이150,200 ℃열처리양품적투사솔봉위이동흔소,봉치투사솔급가견광억제특성기본보지불변,구유흔호적배경은정성.