压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2008年
2期
187-189
,共3页
娄利飞%李跃进%杨银堂%汪家友
婁利飛%李躍進%楊銀堂%汪傢友
루리비%리약진%양은당%왕가우
多孔硅%牺牲层%MEMS%双槽电化学腐蚀法
多孔硅%犧牲層%MEMS%雙槽電化學腐蝕法
다공규%희생층%MEMS%쌍조전화학부식법
采用双槽电化学腐蚀法成功的制备了多孔硅,从多孔硅的SEM照片中发现,孔径尺寸小,均匀性好,腐蚀深度大(超过100 μm),在极稀的弱碱溶液中就可以得到去除,然后对双槽化学腐蚀法中腐蚀时间及电流对腐蚀速率的影响进行了研究,最后进一步探讨了多孔硅外貌与硅衬底晶向之间的关系.
採用雙槽電化學腐蝕法成功的製備瞭多孔硅,從多孔硅的SEM照片中髮現,孔徑呎吋小,均勻性好,腐蝕深度大(超過100 μm),在極稀的弱堿溶液中就可以得到去除,然後對雙槽化學腐蝕法中腐蝕時間及電流對腐蝕速率的影響進行瞭研究,最後進一步探討瞭多孔硅外貌與硅襯底晶嚮之間的關繫.
채용쌍조전화학부식법성공적제비료다공규,종다공규적SEM조편중발현,공경척촌소,균균성호,부식심도대(초과100 μm),재겁희적약감용액중취가이득도거제,연후대쌍조화학부식법중부식시간급전류대부식속솔적영향진행료연구,최후진일보탐토료다공규외모여규츤저정향지간적관계.
