东北大学学报（自然科学版）
東北大學學報（自然科學版）
동북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHEASTERN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE）
2008年
6期
885-888
,共4页
段永利%巴德纯%许生%范垂祯
段永利%巴德純%許生%範垂禎
단영리%파덕순%허생%범수정
TiO2薄膜%反应溅射%PEM控制%光学性能%薄膜结构
TiO2薄膜%反應濺射%PEM控製%光學性能%薄膜結構
TiO2박막%반응천사%PEM공제%광학성능%박막결구
使用金属钛作靶材,利用中频反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了TiO2薄膜.为使反应溅射的工作点能够稳定在"过渡区", 使薄膜获得理想的化学配比和较高的沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(PEM)对溅射过程进行控制.利用台阶仪测膜厚,用X射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度计以及光学薄膜测试分析仪等手段对TiO2薄膜的结构以及光学性能进行表征,研究了不同工艺条件对薄膜结构和光学性能的影响.结果表明,较高的PEM工作点下制备的TiO2薄膜具有较高的折射率,使用PEM控制的中频反应磁控溅射方法可以制备出性能良好的TiO2光学薄膜.
使用金屬鈦作靶材,利用中頻反應磁控濺射方法在玻璃基底上製備瞭TiO2薄膜.為使反應濺射的工作點能夠穩定在"過渡區", 使薄膜穫得理想的化學配比和較高的沉積速率,使用瞭等離子體髮射光譜鑑控法(PEM)對濺射過程進行控製.利用檯階儀測膜厚,用X射線衍射儀、原子力顯微鏡、分光光度計以及光學薄膜測試分析儀等手段對TiO2薄膜的結構以及光學性能進行錶徵,研究瞭不同工藝條件對薄膜結構和光學性能的影響.結果錶明,較高的PEM工作點下製備的TiO2薄膜具有較高的摺射率,使用PEM控製的中頻反應磁控濺射方法可以製備齣性能良好的TiO2光學薄膜.
사용금속태작파재,이용중빈반응자공천사방법재파리기저상제비료TiO2박막.위사반응천사적공작점능구은정재"과도구", 사박막획득이상적화학배비화교고적침적속솔,사용료등리자체발사광보감공법(PEM)대천사과정진행공제.이용태계의측막후,용X사선연사의、원자력현미경、분광광도계이급광학박막측시분석의등수단대TiO2박막적결구이급광학성능진행표정,연구료불동공예조건대박막결구화광학성능적영향.결과표명,교고적PEM공작점하제비적TiO2박막구유교고적절사솔,사용PEM공제적중빈반응자공천사방법가이제비출성능량호적TiO2광학박막.
