光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2008年
10期
2035-2038
,共4页
非球面%抛物面%激光干涉法%波面相减%绝对检测
非毬麵%拋物麵%激光榦涉法%波麵相減%絕對檢測
비구면%포물면%격광간섭법%파면상감%절대검측
针对非球面度为0.2λ的大口径抛物面反射镜,采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测.对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减,得到被检抛物面镜的实际面形误差.将表面绝对检测技术引入非球面面形检测中,并与波面相减技术相结合,从而使检测准确度提高了0.1λ.用自准直法验证了本方法的可行性.
針對非毬麵度為0.2λ的大口徑拋物麵反射鏡,採用激光榦涉法在ZYGO榦涉儀上進行直接檢測.對從榦涉圖穫得的實際波麵與理論計算的理想波麵進行相減,得到被檢拋物麵鏡的實際麵形誤差.將錶麵絕對檢測技術引入非毬麵麵形檢測中,併與波麵相減技術相結閤,從而使檢測準確度提高瞭0.1λ.用自準直法驗證瞭本方法的可行性.
침대비구면도위0.2λ적대구경포물면반사경,채용격광간섭법재ZYGO간섭의상진행직접검측.대종간섭도획득적실제파면여이론계산적이상파면진행상감,득도피검포물면경적실제면형오차.장표면절대검측기술인입비구면면형검측중,병여파면상감기술상결합,종이사검측준학도제고료0.1λ.용자준직법험증료본방법적가행성.
