真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2009年
1期
21-24
,共4页
牟永强%冯浩%梁耀廷%崔敬忠
牟永彊%馮浩%樑耀廷%崔敬忠
모영강%풍호%량요정%최경충
二氧化钒%薄膜%电学特性%光学透过率
二氧化釩%薄膜%電學特性%光學透過率
이양화범%박막%전학특성%광학투과솔
用磁控反应溅射法加退火工艺在石英玻璃上制备出具有相变特性的二氧化钒薄膜,通过XRD、SEM和波长200～2 500 nm的光学透过率的测试对薄膜的结构和特性进行分析,研究退火对薄膜的结构和光电特性的影响.
用磁控反應濺射法加退火工藝在石英玻璃上製備齣具有相變特性的二氧化釩薄膜,通過XRD、SEM和波長200～2 500 nm的光學透過率的測試對薄膜的結構和特性進行分析,研究退火對薄膜的結構和光電特性的影響.
용자공반응천사법가퇴화공예재석영파리상제비출구유상변특성적이양화범박막,통과XRD、SEM화파장200～2 500 nm적광학투과솔적측시대박막적결구화특성진행분석,연구퇴화대박막적결구화광전특성적영향.
