微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2004年
3期
25-28
,共4页
郭冬云%王耘波%付承菊%于军
郭鼕雲%王耘波%付承菊%于軍
곽동운%왕운파%부승국%우군
铁电材料%MEMS%应用
鐵電材料%MEMS%應用
철전재료%MEMS%응용
铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值.本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况.
鐵電材料在微電子技術、光電子技術和集成光學等多箇領域中具有極為重要的應用價值.本文簡要介紹瞭鐵電材料及其在MEMS器件方麵的應用情況.
철전재료재미전자기술、광전자기술화집성광학등다개영역중구유겁위중요적응용개치.본문간요개소료철전재료급기재MEMS기건방면적응용정황.
