光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2004年
10期
21-23,27
,共4页
漆新民%谌廷政%朱小进%高益庆%罗宁宁%王铮
漆新民%諶廷政%硃小進%高益慶%囉寧寧%王錚
칠신민%심정정%주소진%고익경%라저저%왕쟁
衍射光学元件%灰度掩模%激光曝光%激光光刻系统
衍射光學元件%灰度掩模%激光曝光%激光光刻繫統
연사광학원건%회도엄모%격광폭광%격광광각계통
根据灰度掩模的制作理论,提出了由PP8000胶片输出仪、远心成像透镜组、平行准直He-Cd激光器构成的精缩投影曝光灰度掩模制作系统.通过灰度掩模平面不同位置处提供可变的透过率,经一次光刻后得到所需的衍射光学元件.该系统不仅可采用黑白胶片制作高分辨率灰度掩模板,还可根据彩色灰度等效理论,利用彩色等效胶片实现256灰度级的扩展细分,以进一步提高灰度掩模板制作的分辨率.对于16台阶灰度掩模,其分辨率可以从0～255扩展到0～1280灰度级.利用该系统给出了二元光栅精缩后的感光图片.
根據灰度掩模的製作理論,提齣瞭由PP8000膠片輸齣儀、遠心成像透鏡組、平行準直He-Cd激光器構成的精縮投影曝光灰度掩模製作繫統.通過灰度掩模平麵不同位置處提供可變的透過率,經一次光刻後得到所需的衍射光學元件.該繫統不僅可採用黑白膠片製作高分辨率灰度掩模闆,還可根據綵色灰度等效理論,利用綵色等效膠片實現256灰度級的擴展細分,以進一步提高灰度掩模闆製作的分辨率.對于16檯階灰度掩模,其分辨率可以從0～255擴展到0～1280灰度級.利用該繫統給齣瞭二元光柵精縮後的感光圖片.
근거회도엄모적제작이론,제출료유PP8000효편수출의、원심성상투경조、평행준직He-Cd격광기구성적정축투영폭광회도엄모제작계통.통과회도엄모평면불동위치처제공가변적투과솔,경일차광각후득도소수적연사광학원건.해계통불부가채용흑백효편제작고분변솔회도엄모판,환가근거채색회도등효이론,이용채색등효효편실현256회도급적확전세분,이진일보제고회도엄모판제작적분변솔.대우16태계회도엄모,기분변솔가이종0～255확전도0～1280회도급.이용해계통급출료이원광책정축후적감광도편.
