功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2006年
9期
1420-1422
,共3页
吴玉新%薛成山%庄惠照%田德恒%刘亦安%何建廷
吳玉新%薛成山%莊惠照%田德恆%劉亦安%何建廷
오옥신%설성산%장혜조%전덕항%류역안%하건정
氮化镓薄膜%Si衬底%电泳沉积%六方纤锌矿结构
氮化鎵薄膜%Si襯底%電泳沉積%六方纖鋅礦結構
담화가박막%Si츤저%전영침적%륙방섬자광결구
采用电泳沉积法在Si(111)衬底上制备出了GaN薄膜.用X射线衍射(XRD)、傅立叶红外吸收(FTIR)谱、X射线光电子能谱(XPS)和扫描电镜(SEM)对样品的结构、组分和形貌进行了分析.结果显示所得样品为六方纤锌矿结构的GaN多晶薄膜.
採用電泳沉積法在Si(111)襯底上製備齣瞭GaN薄膜.用X射線衍射(XRD)、傅立葉紅外吸收(FTIR)譜、X射線光電子能譜(XPS)和掃描電鏡(SEM)對樣品的結構、組分和形貌進行瞭分析.結果顯示所得樣品為六方纖鋅礦結構的GaN多晶薄膜.
채용전영침적법재Si(111)츤저상제비출료GaN박막.용X사선연사(XRD)、부립협홍외흡수(FTIR)보、X사선광전자능보(XPS)화소묘전경(SEM)대양품적결구、조분화형모진행료분석.결과현시소득양품위륙방섬자광결구적GaN다정박막.
