稀有金属与硬质合金
稀有金屬與硬質閤金
희유금속여경질합금
RARE METALS AND CEMENTED CARBIDES
2008年
1期
34-37
,共4页
聂君兰%谷坤明%汤皎宁%麦达宇%樊璠
聶君蘭%穀坤明%湯皎寧%麥達宇%樊璠
섭군란%곡곤명%탕교저%맥체우%번번
Me-DLC膜%ECR溅射镀膜%磁控溅射%气源流量
Me-DLC膜%ECR濺射鍍膜%磁控濺射%氣源流量
Me-DLC막%ECR천사도막%자공천사%기원류량
介绍了一种新型的DLC膜制备方法--ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法.采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C)中间层结构的碳薄膜.研究了制备时不同气源流量对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能等的影响.
介紹瞭一種新型的DLC膜製備方法--ECR(電子迴鏇共振)微波等離子體氣相沉積結閤磁控濺射的方法.採用該法通過濺射石墨靶和金屬鈦靶在不鏽鋼基底上製備瞭具有Ti/TiN/TiN(N,C)中間層結構的碳薄膜.研究瞭製備時不同氣源流量對薄膜的錶麵形貌、硬度、摩抆磨損性能、錶麵能等的影響.
개소료일충신형적DLC막제비방법--ECR(전자회선공진)미파등리자체기상침적결합자공천사적방법.채용해법통과천사석묵파화금속태파재불수강기저상제비료구유Ti/TiN/TiN(N,C)중간층결구적탄박막.연구료제비시불동기원류량대박막적표면형모、경도、마찰마손성능、표면능등적영향.
