电镀与环保
電鍍與環保
전도여배보
ELECTROPLATING & POLLUTION CONTROL
2009年
1期
16-20
,共5页
余云丹%胡秀坤%卫国英%吴琼%葛洪良
餘雲丹%鬍秀坤%衛國英%吳瓊%葛洪良
여운단%호수곤%위국영%오경%갈홍량
脉冲电沉积%占空比%脉冲周期%Co-W合金薄膜
脈遲電沉積%佔空比%脈遲週期%Co-W閤金薄膜
맥충전침적%점공비%맥충주기%Co-W합금박막
采用脉冲电沉积法制备Co-W 磁性薄膜.研究脉冲周期和占空比对沉积速率,Co-W薄膜的形貌、结构以及磁性能的影响.结果表明:脉冲周期与占空比对薄膜的沉积速率、形貌、结构和磁性能都有较大的影响.随着脉冲周期和占空比的不断增加,沉积速率呈现先增大后减小的趋势;而Co-W薄膜的矫顽力呈现减小的趋势.这主要是由于晶粒尺寸增大的缘故.AFM研究表明:随着占空比增大,薄膜颗粒增大,表面平整度下降,空隙率增加;脉冲周期影响薄膜表面聚集颗粒团;增大脉冲周期,该聚集团会增大.
採用脈遲電沉積法製備Co-W 磁性薄膜.研究脈遲週期和佔空比對沉積速率,Co-W薄膜的形貌、結構以及磁性能的影響.結果錶明:脈遲週期與佔空比對薄膜的沉積速率、形貌、結構和磁性能都有較大的影響.隨著脈遲週期和佔空比的不斷增加,沉積速率呈現先增大後減小的趨勢;而Co-W薄膜的矯頑力呈現減小的趨勢.這主要是由于晶粒呎吋增大的緣故.AFM研究錶明:隨著佔空比增大,薄膜顆粒增大,錶麵平整度下降,空隙率增加;脈遲週期影響薄膜錶麵聚集顆粒糰;增大脈遲週期,該聚集糰會增大.
채용맥충전침적법제비Co-W 자성박막.연구맥충주기화점공비대침적속솔,Co-W박막적형모、결구이급자성능적영향.결과표명:맥충주기여점공비대박막적침적속솔、형모、결구화자성능도유교대적영향.수착맥충주기화점공비적불단증가,침적속솔정현선증대후감소적추세;이Co-W박막적교완력정현감소적추세.저주요시유우정립척촌증대적연고.AFM연구표명:수착점공비증대,박막과립증대,표면평정도하강,공극솔증가;맥충주기영향박막표면취집과립단;증대맥충주기,해취집단회증대.
