光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
1期
39-43
,共5页
于雪莲%田佳峻%姚勇%赵新辉%刘超%孙云旭
于雪蓮%田佳峻%姚勇%趙新輝%劉超%孫雲旭
우설련%전가준%요용%조신휘%류초%손운욱
图像处理%波前重构%条纹中心法%泽尼克多项式
圖像處理%波前重構%條紋中心法%澤尼剋多項式
도상처리%파전중구%조문중심법%택니극다항식
条纹中心法是干涉测量技术中分析单幅干涉图的一种重要处理方法,该方法主要包括图像预处理、波前重构和样品表面形貌及参数的测量等三个部分.研究了条纹中心法的关键技术,特别是应用协方差矩阵法求解泽尼克多项式以进行波前重构的过程.提出了基于单幅干涉图自动波前重构的流程方法.最后应用该流程方法处理由泰曼-格林干涉系统采集的精密抛光铝制盘基片表面形成的一幅干涉图像.实验结果表明,该方法可以实现单幅干涉图的自动波前重构,干涉波前重构的拟合精度可达1.468 6×10-6 nm,还可以自动获得精密抛光铝制盘基片表面的形貌及参数.
條紋中心法是榦涉測量技術中分析單幅榦涉圖的一種重要處理方法,該方法主要包括圖像預處理、波前重構和樣品錶麵形貌及參數的測量等三箇部分.研究瞭條紋中心法的關鍵技術,特彆是應用協方差矩陣法求解澤尼剋多項式以進行波前重構的過程.提齣瞭基于單幅榦涉圖自動波前重構的流程方法.最後應用該流程方法處理由泰曼-格林榦涉繫統採集的精密拋光鋁製盤基片錶麵形成的一幅榦涉圖像.實驗結果錶明,該方法可以實現單幅榦涉圖的自動波前重構,榦涉波前重構的擬閤精度可達1.468 6×10-6 nm,還可以自動穫得精密拋光鋁製盤基片錶麵的形貌及參數.
조문중심법시간섭측량기술중분석단폭간섭도적일충중요처리방법,해방법주요포괄도상예처리、파전중구화양품표면형모급삼수적측량등삼개부분.연구료조문중심법적관건기술,특별시응용협방차구진법구해택니극다항식이진행파전중구적과정.제출료기우단폭간섭도자동파전중구적류정방법.최후응용해류정방법처이유태만-격림간섭계통채집적정밀포광려제반기편표면형성적일폭간섭도상.실험결과표명,해방법가이실현단폭간섭도적자동파전중구,간섭파전중구적의합정도가체1.468 6×10-6 nm,환가이자동획득정밀포광려제반기편표면적형모급삼수.
