中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2012年
2期
509-514
,共6页
宋贵宏%娄茁%李锋%陈立佳
宋貴宏%婁茁%李鋒%陳立佳
송귀굉%루촬%리봉%진립가
Ti/TiN多层膜%电弧离子镀%择优取向%耐腐蚀性
Ti/TiN多層膜%電弧離子鍍%擇優取嚮%耐腐蝕性
Ti/TiN다층막%전호리자도%택우취향%내부식성
采用电弧离子镀技术,通过周期性变换环境气氛,在7075Al合金上制备了Ti/TiN多层膜,并研究调制周期对多层膜的结构组成和腐蚀性能的影响.结果表明:多层膜与铝合金衬底界面结合较好,基本没有孔洞等缺 .陷.多层膜具有明显的层状特征,层间界面清晰.多层膜中TiN与单层中TiN薄膜有着相同的晶体结构,并存在(111)择优取向,每个调制周期内的TiN层都呈柱状生长.随着调制周期变小,多层膜阳极极化曲线的腐蚀电位增加,交流阻抗谱的阻抗值增大,容抗弧的半径也增大,即膜层的耐腐蚀性增加.多层膜调制周期的减小使得薄膜中含有的层界面增多,而贯穿至衬底表面的针孔等缺陷的数量将减少,这样,腐蚀性介质经过针孔等缺陷与衬底接触的机会变少,这将使薄膜的抗腐蚀能力得到改善.
採用電弧離子鍍技術,通過週期性變換環境氣氛,在7075Al閤金上製備瞭Ti/TiN多層膜,併研究調製週期對多層膜的結構組成和腐蝕性能的影響.結果錶明:多層膜與鋁閤金襯底界麵結閤較好,基本沒有孔洞等缺 .陷.多層膜具有明顯的層狀特徵,層間界麵清晰.多層膜中TiN與單層中TiN薄膜有著相同的晶體結構,併存在(111)擇優取嚮,每箇調製週期內的TiN層都呈柱狀生長.隨著調製週期變小,多層膜暘極極化麯線的腐蝕電位增加,交流阻抗譜的阻抗值增大,容抗弧的半徑也增大,即膜層的耐腐蝕性增加.多層膜調製週期的減小使得薄膜中含有的層界麵增多,而貫穿至襯底錶麵的針孔等缺陷的數量將減少,這樣,腐蝕性介質經過針孔等缺陷與襯底接觸的機會變少,這將使薄膜的抗腐蝕能力得到改善.
채용전호리자도기술,통과주기성변환배경기분,재7075Al합금상제비료Ti/TiN다층막,병연구조제주기대다층막적결구조성화부식성능적영향.결과표명:다층막여려합금츤저계면결합교호,기본몰유공동등결 .함.다층막구유명현적층상특정,층간계면청석.다층막중TiN여단층중TiN박막유착상동적정체결구,병존재(111)택우취향,매개조제주기내적TiN층도정주상생장.수착조제주기변소,다층막양겁겁화곡선적부식전위증가,교류조항보적조항치증대,용항호적반경야증대,즉막층적내부식성증가.다층막조제주기적감소사득박막중함유적층계면증다,이관천지츤저표면적침공등결함적수량장감소,저양,부식성개질경과침공등결함여츤저접촉적궤회변소,저장사박막적항부식능력득도개선.